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設備產品

類鑽碳鍍膜設備

類鑽碳 (DLC) 塗層是一種無定形納米複合碳材料,具有與天然金剛石相似的特性,包括低摩擦、高硬度和高耐腐蝕性。正確的塗層可以減少滑動磨損,而類鑽碳 (DLC)鍍膜機可以提供正確的塗層。當您為您的產品添加 DLC 塗層時,它們的硬度和耐腐蝕性可與鑽石相媲美。類鑽碳膜 (DLC)具有高硬度、耐腐蝕、抗磨損、低摩擦等優點,可應用於工具塗層、半導體模具、光學鏡頭、醫療器械等。

SYSKEY 的類鑽碳 (DLC)鍍膜機可以通過監測參數(腔室壓力、特殊氣體的質量流量)單獨精確控制工藝氣體。此外,SYSKEY的類鑽碳膜 (DLC)具有更好的附著力和高韌性的特性,可以滿足獨特產品應用的硬度、電阻率和耐磨性的要求。

 


 

應用领域 腔體
  • 醫療和商業產品的耐磨薄膜
  • 封裝、絕緣
  • 防刮顯示屏
  • 客製化的腔體尺寸,取決於基板尺寸和其應用
  • 通過使用水冷、水熱系統或加熱器來控制腔體溫度

 

配置和優點 選件
  • 客製化的基板
  • 多載片
  • 優異的薄膜均勻性小於+-3%
  • 精準流量控制器,氣體分佈高度均勻
  • 使用電容式藕荷電漿(CCP)

 

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