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設備產品

FPD-PVD磁控濺鍍設備

隨著LCD面板和製造所需玻璃的尺寸的增加,製造設備也隨著變得更大,需要越來越大的設備投資。SYSKEY針對中小尺寸的需求開發串集的PVD 設備,擁有4個單獨的濺鍍腔體,讓客戶能任意搭配沉積的材料,同時保有彈性和具有選擇性的系統。



 


 

應用領域  
  • TFT-LCD
  • 太陽能電池
  • 觸碰屏
  • 氧化物、氮化物和金屬材料的研究
 
配置和優點 選件
  • 客製化基板尺寸最大為550 x 650 mm2(玻璃)
  • 優異的薄膜均勻度小於±5%
  • 穩定的溫度控制,可將基板加熱到400°C
  • Cassette傳送站
  • 基材電漿清潔
  • OES、RGA或製程監控的額外備用端口。

 

 

 

 

 

 

 

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