Магнетронное напыление – это метод нанесения тонких пленок посредством распыления материала мишени в плазме магнетронного разряда.

Совместным называется одновременное магнетронное напыление с двух и более мишеней. Применяется для получения композитных материалов и компаундных сплавов.

Условия сверхвысокого вакуума крайне важны для научных исследований, поскольку эксперименты зачастую требуют обработки поверхностей высокой степени чистоты на все время процесса напыления.

Высококачественный многослойные пленки становятся все более важными при производстве высокоточных систем, где однослойные тонкие пленки уже не позволяют добиться требуемых характеристик.

Система конвейерного магнетронного напыления предназначена для автоматического перемещения подложек относительно одного или нескольких катодов для получения требуемых тонкопленочных покрытий.