Установка термического испарения органических материалов - система, предназначенная для осаждения органических материалов на поверхность подложки. Данный процесс требует высокой точности и однородности тонких пленок, что достигается посредством точного регулирования температуры и скорости осаждения.

 

Для достижения этих требований система термического испарения органических материалов использует эффузионную ячейку в качестве источника нагрева с металлическим, кварцевым, керамическим или органическим PBN-тиглем для распыляемого материала, а также пид-контроллер для управления скоростью осаждения. Установка обычно используется в исследованиях по органической электронике, таких как OPV, OLED, OPD. 

Органический светодиод с высокой	Машинное зрение для совмещения
проницаемостью	фотошаблона и подложки, точность
	≦ ±5 мкм。

---

Система инкапсуляции

Компания Syskey производит лабораторное оборудование для герметизации стекло-в-стекло и специализированные пресса. Мы интегрируем систему нанесения компаунда (УФ-отверждаемый клей или жидкий герметик) и УФ-лампы в перчаточный бокс или в отдельную камеру для герметизации, куда можно загружать сам корпус вручную или посредством автоматической системы.

Гибкие OLED-дисплеи должны быть тонкими и без проблем изгибаться, поэтому корпусирование в стекло не подходит для этого типа. Необходимо использовать технологию тонкопленочной герметизации (TFE) или гибридной сборки. Для реализации TFE-процесса компания Syskey представляет линейку оборудования, состоящую из установок плазменно-усиленного химического осаждения из паровой фазы, установки атомно-слоевого осаждения и систему покрытия париленом. Мы используем низкотемпературную технологию формирования тонких плёнок для нанесения нескольких слоев (SiNX, SiOXNX, Al2O3, ZnO, парилен) на OLED-дисплеи, чтобы получить наилучший защитный слой и уменьшить количество кислорода и воды, тем самым улучшая срок службы и производительность OLED-дисплеев.

 

　　　　　　　　　　　　Установка атомно-слоевого осаждения　　　Установка нанесения парилена　Установка плазменно-усиленного
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　химического осаждения

 

Скорость передачи данных по 5х10-4 г/м2/день
TEST RESULTS	IN SELECTED UNITS			Срок службы OLED под TFE, при изначальном 　　　　　　Проницаемость тонкоплёночного
Transmission Rate:	-6.603313(<0.5)	mg/[m2-day]		уровне освещения 10000 Кд/м2　　　　　　　герметизирующего
Permeation:	-3.119675	mg-mil//[m2-day]
Date points
Time　Rate/Event	Time　Rate/Event	Time　Rate/Event	Time　Rate/Event
0:00　 Condition	8:00　 Test	17:00   -12.75783	26:00   -7.118823
35:00   -7.602876	44:00   -7.667113	53:00   -6.392888	62:00   -6.688553
71:00   -6.879404	80:00   -6.768686	89:00   -6.603313	95:29   Complete
95:29   Finished

 

---

 

Область применения	Вакуумная камера
Органические светодиоды (OLED) Органические солнечные панели Исследования технологических материалов	Материал – нержавеющая сталь марки 304, водяное охлаждение стенок посредством приваренных трубок из стали марки 304 Полностью открываемая дверь (высоковакуумная камера), два встроенных смотровых окна с заслонками для наблюдения за подложкой и тиглем Предельное давление в камере примерно 10-8 Торр.
Конфигурации и преимущества	Опции
Различный размер пластин –стекло габаритами 470 х 370 мм2 Отличная равномерность плёнок - менее ±3%. Эффузионная ячейка (доступны тигли из металла, керамики, графита, PBN-органики) Автоматическое управление скоростью осаждения: 0,01 Ȧ/сек Точность испарения эффузионной ячейки: ± 0,1 °С Возможность одновременной установки нескольких источников с последовательным включением или совместным напылением  Точность совмещения фотошаблона и подложки посредством машинного зрения ≤ ±5 мкм Заслонки устанавливаются на каждый источник и на подложку	Интеграция со шлюзовой камерой, роботом-манипулятором для перемещения подложек, перчаточным боксом. Анализатор остаточных газов.