Электронно-лучевое напыление - метод физического осаждения из газовой фазы (PVD), при котором электронный пучок, генерируемый из вольфрамовой нити накала и направляемый электрическими и магнитными полями к исходному материалу, преобразует его в газообразную фазу с последующим осаждением на поверхности подложки. Процесс проводится в среде высокого вакуума со свободным образованием тонкой пленки на поверхности подложки. Как метод электронно-лучевое напыление имеет больше преимуществ, чем термическое испарение. Он способен плавить материал при очень высоких температурах, даже вольфрам, графит и др; плюс легко контролировать скорость испарения с помощью комбинированного кварцевого кристаллического датчика для сигнала обратной связи по регулировке тока электронного луча и испарения большего количества материалов без нарушения вакуума. Таким образом, электронно-лучевое напыление применяется в тонкопленочной технологии, в том числе в полупроводниках, оптике, солнечных панелях, декоративном и функциональном напылении стёкол, чтобы они обладали необходимыми проводящими, отражающими, пропускающими и электронными свойствами.