Печь отжига - технологическое оборудование, используемое при изготовлении полупроводниковых устройств. Процесс включает в себя нагрев множества полупроводниковых пластин, для оказания влияния на их электрические свойства. Термическая обработка направлена на достижение различных эффектов. Пластина может нагреваться для активации легирующих веществ, плотности осажденной пленки и изменения состояния выращенной пленки. Воздействие высоких температур может устранить повреждения в структуре плёнки. Этот процесс называется отжигом. Отжиг может быть интегрирован в другие этапы обработки внутри печи, такие как оксидирование, или может проходить отдельно.