Многокамерная кластерная система представляет собой кластер из нескольких вакуумных установок, соединенных между собой через передаточную камеру, расположенную в центре кластера. Все процессы от передачи подложки, осаждения, испарения осуществляются непрерывно без нарушения вакуума. Подложки и маски загружаются через шлюз или перчаточную камеру, который соединяется с передаточной камерой. Весь этот процесс сводит к минимуму воздействие внешней среды для предотвращения окисления на поверхности подложки в процессе многослойного осаждения и обеспечивает максимальную эффективность изготовления устройства. Syskey обеспечивает кластер на основе требований заказчика. Наша система обычно интегрирует в себе установки испарения, травления, PECVD, ALD, отжига, плазменной очистки и охлаждения, которые применяются для производства FPD, в электронной промышленности, солнечных элементах и полупроводниковой промышленности.